Решения
Комплексные решения для полного цикла производства полупроводников и электроники
- Описание
- Сопутствующая продукция
Часто используемое фильтрационное оборудование и подбор картриджей для полупроводниковой и электронной отрасли
Часто применяемое оборудование
Гигиенические точные картриджные фильтры, корпуса фильтров из нержавеющей стали для сверхчистых сред
Мешочные фильтры для химических растворов, пластиковые фильтры с устойчивостью к кислотам и щелочам
Фильтры для сверхчистых газов, компактные точные фильтры для технологических трубопроводов
Специализированные фильтры для суспензий CMP, конечные полирующие фильтры для сверхчистой воды
Высокоэффективные модули воздушной фильтрации HEPA/ULPA
Основные материалы фильтрующих картриджей (специально для полупроводниковой промышленности)
ПТФЭ (тефлон): устойчивость к концентрированным кислотам, щелочам и органическим растворителям, гидрофобность и газопроницаемость. Оптимальный выбор для фильтрации химических растворов и газов.
ПЭС (полиэфирсульфон): низкий уровень вымываемых примесей, высокая пропускная способность, подходит для сверхчистой воды и тонкой очистки лекарственных и технологических жидкостей.
ПП (полипропилен): универсальный материал для предварительной фильтрации, выгодное соотношение цена-качество.
Фильтрующие элементы из спеченной нержавеющей стали: термостойкость, возможность регенерации, используются для сверхчистых газов и высокотемпературных технологических процессов.
Нейлон: подходит для высоковязких химических веществ, обеспечивает тонкое осветление жидкостей.
Специальные проектные требования для отрасли
Материалы: Нержавеющая сталь 316L, PVDF, PPH, сверхчистые пластики; низкая степень вымывания ионов, отсутствие выделений веществ.
Конструкция: Отсутствие мёртвых зон, быстросъёмные хомуты, возможность очистки на месте (CIP).
Коррозионная стойкость: Совместимость с плавиковой кислотой, серной кислотой, перекисью водорода и различными высококоррозионными химическими жидкостями для влажных процессов микроэлектроники.
Уплотнения: Импортный фторкаучук, перфторированные уплотнители; химическая стойкость, отсутствие выделений примесей.
Класс чистоты: Соответствие строгим нормам чистоты для полупроводниковой отрасли, стандарту SEMI и требованиям чистых производственных помещений.
