半导体与电子全流程整体解决方案
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半导体电子常用过滤设备 & 滤芯选型
常用设备
卫生级精密芯式过滤器、不锈钢高纯滤壳。
化学药液袋式过滤器、耐酸碱塑胶滤器。
高纯气体过滤器、管路小型精密过滤器
CMP 研磨液专用过滤器、超纯水终端抛光过滤器
HEPA/ULPA 高效空气过滤模块
主流滤芯材质(半导体专用)
PTFE:耐强酸强碱、有机溶剂、疏水透气,药液 / 气体首选。
PES:低析出、高通量,超纯水、精密药液。
PP 聚丙烯:通用预过滤、性价比高。
不锈钢金属烧结:耐高温、可再生、高纯气体 / 高温工艺
尼龙 Nylon:高粘度化学品、精细澄清
行业特殊设计要求
材质:316L 不锈钢、PVDF、PPH、高纯塑料,低离子析出、无溶出。
结构:无死角、快装卡箍、可在线 CIP 清洗。
耐腐:适配氢氟酸、硫酸、双氧水、各类强腐蚀湿电子化学品
密封:进口氟橡胶、全氟密封,耐化学、无析出
等级:满足半导体高洁净、SEMI、无尘车间规范
